超精密量测能力介绍

09月,01,2022 | 浏览次数：25955

精密量测测试服务项目

尺寸测量、电脑辅助验证（CAV）/逆向工程、齿轮检测、轴类零件形位公差检测（校准级）、表面粗糙度检测、3D微观形貌检测及分析。

一、白光干涉测量仪

设备基于Zygo®白光轮廓仪及特殊子孔径拼接技术(测量子孔径时,倾斜和旋转样品,确保测量光轴垂直于被测表面,最大程度上减小误差),以非接触式,检测小型摄像头中非球面透镜。

设备特色：超高精密白光干涉测量、全方位3D形貌特征测量、5轴连动控制,避免角度过大测量误差、气浮减震腿,减少环境振动影响。

功能		非接触式三维干涉测量仪
技术		连续扫描干涉图形拼接法
能力		光学表面形态和纹理计算
		光学表面偏离设计式计算
		曲面顶点与基准特征的关系计算
轴数		X，Y，Z，P，R，C
镜头	光源	单点白光LED
	物镜	2.5X（关系测量），20X（光学表面测量）
	变焦	自动3位变焦
		0.5X，0.75X，1.5X
	分辨率	1048*1048
分辨率	Z	0.1nm
	XY	0.42μm
隔振装置		气动隔离
测量范围		旋转对称的球形或非球面透镜以及透镜模仁，其形状测量为CA＜8mm，关系测量为CA＜ 6.4mm

白光干涉测量仪应用领域

二、激光干涉测量仪

设备基于激光干涉原理与原子间力探头,以低测力接触式测量,检测中小型摄像头中非球面透镜与注塑模仁的2D形貌及相关尺寸参数。

设备特色：超高精密激光干涉+原子间力探头测量、曲面轮廓快速扫描测量、可反推曲面设计式用于超精密切削补正加工。

功能		接触式三维扫描测量仪
技术		激光干涉，原子间力探头
能力		光学表面形态计算
		光学表面偏离设计式计算
		曲面与基准面的关系计算
轴数		3轴（X，Y，Z）
探头	类型	原子间力
	测量力	0.1mN--0.2mN（10mgf-20mgf）
测针大小		陶瓷：R0.5mm金刚石：R2μm
测量精度		测量面倾斜角	≤30:±0.05μm ≤45:±0.06μm ≤60:±0.07μm ≤70:±0.10μm
测量最大角		75度
测量范围		303020mm（XYZ）
测量速度		0.005-5mm/秒
数据采样大小		最高：2000点/秒最大测量点：1000000点

激光干涉测量仪测量原理

激光干涉测量仪测量流程

三、复合式三坐标量测仪

本机型为落地式一体成型花岗岩鸠尾槽,量测台中央驱动设计,三轴预压式精密空气轴承,气冷式DC Motor马达设计。

复合式三坐标量测仪

量测范围：600mmX, 400mmY, 300mmZ

外观尺寸：1774mm W, 1300mm D, 2650mm H

精度：E1：( 0.5 + L / 900 ) µm、E2：( 0.7 + L / 600 ) µm、E3：( 1.5 + L / 500 ) µm

机台重量：1650kg

工作平台：以铝合金制成,台面上为精密强化玻璃。

轴承：采用预压式精密空气轴承

Z轴：气压式平衡功能,可精确平衡Z轴。

材质：三轴均采用花岗岩材质,稳定性高。

操控方式：游戏杆控制(MJC),计算机直控(DCC)。

量测系统：超高分辨率光学尺0.05 µm

位移速度：100mm/sec

加速度: 250mm/sec*2

电力：220VAC ±10% / 50Hz 4Face

测头：

Werth CCD 10X Fixed Lens自动对焦镜头:

1.专利设计,重复性佳。

2.高解析设计快速自动对焦。

3.256色灰阶判定, 1/2 “ or 1/3 “ CCD CAMERA。

4.所有取点为扫瞄模式,使得量测值更精准。

5.光源部份(白色LED系统)正面光底光3D ( 4向环光)。

6.专利游戏杆系统,可直接由游戏杆调整钮,调整所需之光源。

雷尼绍 SP80接触式扫描测头：

1.测头分辨率：0.02um

2.精度：E:0.5+L/350，P：0.6um，THP：1.5um

3.使用ø0.5~5.0mm测针

Werth WFP光纤测头：

1.基于图像处理系统的接触式探头,通过接触式测量更小的特征

2.使用ø0.1~0.17mm测针

四、高性能、高精密三坐标测量仪

PMM-C系列是采用封闭框架设计固定龙门的高速度高精度三坐标测量机，花岗岩材料的工作台可移动，底座是整体燕尾式导轨设计。工作台和导轨之间是预载荷空气轴承，陶瓷Z轴配有精密导向系统。这种结构形式可以最大限度地保证机器的整体刚性以及方便地装卸工件。

量测范围：1200 mm X, 1000 mm Y, 700 mmZ
精度：长度测量的示值误差：0.6 + L/600 [µm]
探测误差：0.6 µm
扫描测头精度：1.5 mm at 72sec 分辨率：0.05 µm
环境要求：温度- 20 ± ℃ 0.5 ℃ ,0.5 K/h, 0.5 K/m, 0.5K/d
材质：三轴均采用花岗岩材质,稳定性高软件系统：PCDMIS
最大定位移速度：400mm/sec 最大加速度：3000mm/sec*2
主机Machine
1.PMM-C 700P固定龙门式高精度三坐标测量机主机
2.性能优越的微处理器控制系统
3.带10个温度传感器的自动温度补偿
4.振动隔离装置
TRAX三维测头:
1.超高精度动态单点探测
2.触测后﹐同时进行空间向量测量
3.超高精度和重复性
4.扫描测头偏向范围大
5.接触前无机械预偏差
6.模拟测头设计

五、圆度测量仪

Talyrond 365代表了测量技术的一个重大的突破。所有轴精密玻璃光栅和精密位移控制的结合，以及低的仪器噪声和高数据密度，使得该仪器具备形状和表面粗糙度的测量能力。

工作台直径：350mm 横臂行程：200mm
立柱行程：300mm 主轴：超高精密空气轴承主轴
圆度误差：±(0.02+0.0003H)μm 轴向误差：±(0.02+0.0003R)μm
采样数据点：最多18000
软件：Ultra软件可以把表面粗糙度和圆度分析完美的结合
Ra：±3% 金刚石测针大小：R5µm
操作温度：10ºC至35ºC 操作湿度：30%至80%相对不结露

设备特征：全自动标定、全自动调心、调平、全自动跟踪模式、全自动三位绘制

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