材料失效分析
测试背景
测试项目及测试规范
测试项目
测试规范
SEM形貌观察
按设备生产商方法
SEM+EDS成分分析
按设备生产商方法
表面观察
依客户要求
金相组织
GB/T 13298-2015
离子浓度
IPC-TM-650
电导率
按设备生产商方法
名称
型号
内部编号
标准有效
扫描电子显微镜
SU1510
9WX-0039
无需校验
金相显微镜
AXIO Imager.A2m
727-0001
2021-03-10
离子色谱仪
ICS-1100
603-0002
2021-08-26
电导仪
CON700
506-0020
2021-12-23
表1 样品表面EDS成分测试结果(wt%)
图5 NG区域截面形貌及EDS成分测试位置
表3削液Cl-离子及电导率检测
表4 验证条件及验证结果
建议:切削液供应商检讨切削液稳定性。
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