材料失效分析
测试背景
 
测试项目及测试规范
	 
	
		
			
				 
			
					测试项目 
				 
				
					测试规范 
				 
			
				 
			
					SEM形貌观察 
				 
				
					按设备生产商方法 
				 
			
				 
			
					SEM+EDS成分分析 
				 
				
					按设备生产商方法 
			
				
				 
			
					表面观察 
				 
				
					依客户要求 
				 
			
				 
			
					金相组织 
				 
				
					GB/T 13298-2015 
				 
			
				 
			
					离子浓度 
				 
				
					IPC-TM-650 
				 
			
				 
		
	
					电导率 
				 
				
					按设备生产商方法 
			
				
 
	 
	
		
			
				 
			
					名称 
				 
				
					型号 
				 
				
					内部编号 
				 
				
					标准有效 
			
				
				 
			
					扫描电子显微镜 
				 
				
					SU1510 
				 
				
					9WX-0039 
				 
				
					无需校验 
				 
			
				 
			
					金相显微镜 
				 
				
					AXIO Imager.A2m 
				 
				
					727-0001 
				 
				
					2021-03-10 
				 
			
				 
			
					离子色谱仪 
				 
				
					ICS-1100 
				 
				
					603-0002 
				 
				
					2021-08-26 
				 
			
				 
		
	
					电导仪 
				 
				
					CON700 
				 
				
					506-0020 
				 
				
					2021-12-23 
				 
			
 
 
 
表1 样品表面EDS成分测试结果(wt%)
	
 
 
 
图5 NG区域截面形貌及EDS成分测试位置
 
 
 
表3削液Cl-离子及电导率检测
 
表4 验证条件及验证结果
	
 
 
 
建议:切削液供应商检讨切削液稳定性。
	
 
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